刘杨科研成果

基本信息 团队成员 教学与招生 科学研究 论文专著 新建主栏目 名称 刘杨，男，汉族，1982年生，哈尔滨工业大学教授/博士生导师。 超精密控制研究室主任，主要研究方向为超精密装备精度调控方法，涉及迭代学习控制、系统辨识、自适应参数整定等理论分支，致力于解决光刻机等尖端超精密装备运动生成的核心共性问题。在本领域顶级期刊发表论文25篇，获授权国际发明专利1项、授权中国发明专利35项。作为项目负责人主持国家自然科学基金2项，黑龙江省自然基金1项，国家重点实验室开放基金1项，广东省重点实验室项目1项。作为课题负责人承担国家自然科学基金重点项目1项，作为课题负责人主持国家02科技重大专项十二五、十三五重大项目2项，主持超精密装备相关领军企业委托横向课题10余项。 工作经历 标题 起讫时间 2021.12-今 职位/职称 教授 工作单位 哈尔滨工业大学 简单介绍 标题 起讫时间 2018.04-今 职位/职称 博士生导师 工作单位 哈尔滨工业大学，控制科学与工程学科 简单介绍 标题 起讫时间 2016.12-2021.12 职位/职称 副教授 工作单位 哈尔滨工业大学 简单介绍 标题 起讫时间 2014.05-今 职位/职称 硕士生导师 工作单位 哈尔滨工业大学 控制科学与工程学科 简单介绍 标题 起讫时间 2014.8-2015.9 职位/职称 访问学者 工作单位 简单介绍 标题 起讫时间 2012.07~2016.12 职位/职称 讲师 工作单位 哈尔滨工业大学 简单介绍 教育经历 标题 起讫时间 2000年-2004年 所学专业 自动化 学习机构 哈尔滨工业大学航天学院，控制科学与工程系 学历 本科 简单介绍 标题 起讫时间 2004年-2006年 所学专业 控制理论与控制工程 学习机构 哈尔滨工业大学航天学院，控制科学与工程系 学历 硕士 简单介绍 标题 起讫时间 2006年-2011年 所学专业 控制理论与控制工程 学习机构 哈尔滨工业大学航天学院，控制科学与工程系 学历 博士 简单介绍 荣誉称号 称号名称 获奖时间 2013 颁奖机构 哈尔滨工业大学优秀专兼职学生工作者 简单介绍 主要任职 任职名称 中国计量测试学会第八届理事会计量仪器专业委员会委员 任职时间 2022-今 简单介绍 任职名称 全国人工智能计量委员会委员 任职时间 2022-今 简单介绍 任职名称 中国图象图形学会视觉检测专业委员会委员 任职时间 2020-今 简单介绍 团队成员 名称 1 付振宪，副教授/硕士生导师 2 宋法质，副教授/硕士生导师 3 李理，副教授/博士生导师 4 董岳，助理研究员 5 张凯，讲师 6 崔宁，工程师（正在入职讲师） 讲授课程 名称 本科生核心课程：自动控制及智能化理论基础，课程负责人 研究生核心课程：智能精密控制理论，课程负责人 招生信息 名称 每年招收研究生3名，博士生研究生3名。 研究方向： 机电系统时域/频域建模、分析与先进控制 甚多轴超精密运动电控系统设计及控制方法研究 智能自适应控制、迭代学习控制理论、自适应参数估计及应用 平面电机控制（六自由度磁悬浮电机） 轨迹与输入整形理论 冗余驱动与冗余测量理论与方法 目前，课题组具有优秀的项目平台和充裕的经费，有意者请将简历发送至lghit@126.com。 科研项目 项目名称 超精密运动控制系统研究合作委托开发合同 项目来源 xx技术有限公司 开始时间 2022.01 结束时间 2022.12 项目经费 担任角色 负责 项目类别 横向项目 项目状态 进行中 简单介绍 项目名称 XXX光刻机工件台和掩模台控制系统研发 项目来源 XXX 开始时间 2021.1 结束时间 2022.12 项目经费 担任角色 负责 项目类别 纵向项目 项目状态 进行中 简单介绍 项目名称 XXXxx光刻机工件台和掩模台控制系统研发 项目来源 xxxx 开始时间 2020.9 结束时间 2021.12 项目经费 担任角色 负责 项目类别 横向项目 项目状态 进行中 简单介绍 项目名称 XX运动台及关键技术开发 项目来源 长春国科精密光学技术有限公司 开始时间 2020.10 结束时间 2022.10 项目经费 担任角色 负责 项目类别 横向项目 项目状态 进行中 简单介绍 项目名称 面向微纳定位平台的迭代学习控制方法研究 项目来源 数字制造装备与技术国家重点实验室 开始时间 2020.1 结束时间 2021.12 项目经费 担任角色 负责 项目类别 纵向项目 项目状态 进行中 简单介绍 项目名称 基于迭代学习的含噪不确定高速高动态莫尔条纹信号参数估计方法 项目来源 国家自然科学基金 开始时间 2021.1 结束时间 2024.12 项目经费 担任角色 负责 项目类别 纵向项目 项目状态 进行中 简单介绍 项目名称 光刻机双工件台样机研发项目-控制系统研发 项目来源 国家十二五重大科技专项 开始时间 2011.4 结束时间 2019.4 项目经费 担任角色 负责 项目类别 纵向项目 项目状态 完成 简单介绍 项目名称 浸没光刻机亚纳米精度运动控制技术研究 项目来源 国家十三五重大科技专项 开始时间 2017.01 结束时间 2020.12 项目经费 担任角色 参与 项目类别 纵向项目 项目状态 进行中 简单介绍 项目名称 精密直线电机系统的关键基础科学问题 项目来源 国家自然科学基金重点项目 开始时间 2016.01 结束时间 2020.12 项目经费 担任角色 参与 项目类别 纵向项目 项目状态 完成 简单介绍 项目名称 高频响亚纳米步长尺蠖式压电陶瓷电机测试平台研发 项目来源 广东省重点实验室（季华实验室） 开始时间 2018.9 结束时间 2020.7 项目经费 担任角色 负责 项目类别 纵向项目 项目状态 完成 简单介绍 项目名称 面向高动态纳米测量的光栅莫尔条纹信号误差机理及实时补偿研究 项目来源 国家自然科学基金 开始时间 2015.01 结束时间 2017.12 项目经费 担任角色 负责 项目类别 纵向项目 项目状态 完成 简单介绍 项目名称 面向空间伴飞机器人在轨柔性视觉检测的运动规划方法研究 项目来源 国家自然科学基金 开始时间 2017.01 结束时间 2020.12 项目经费 担任角色 参与 项目类别 纵向项目 项目状态 完成 简单介绍 项目名称 星地激光通信试验项目 项目来源 民用航天重点项目 开始时间 2006 结束时间 2010 项目经费 担任角色 参与 项目类别 纵向项目 项目状态 完成 简单介绍 名称 学术论文 名称 (1)Liu Yang, Li Li, Xiaofeng Yang*, Jiubin Tan. Enhanced Kalman-filtering Based Iterative Learning Control with Application to Wafer Scanners[J]. Information Sciences. 2020. (2)Chen Zhenyu, Liu Yang*, Yang Zhile, Fu Xuewei, Tan Jiubin, Yang Xiaofeng. An Enhanced Teaching-Learning-Based Optimization Algorithm with Self-adaptive and Learning Operat- ors and Its Search Bias Towards Origin[J]. Swarm and Evolutionary Computation. 2020. (3)Li Li, Liu Yang*, Yang Zhile, Tan Jiubin. Method to Improve Convergence Performance of Iterative Learning Control Systems with Bounded Noise[J]. Journal of the Franklin Institute-Engineering and Applied Mathematics[J]. 2020, 357(3): 1644-1670. (4)Li Li, Liu Yang*, Li Liyi, Tan Jiubin. Kalman-Filtering-Based Iterative Feedforward Tuning in Presence of Stochastic Noise: With Application to a Wafer Stage[J]. IEEE Transactions on Industrial Electronics. 2019, 15(11): 5816-5826. (5)Song Fazhi, Liu, Yang*, Xu Jianxin, Yang Xiaofeng, Zhu Qiao. Data-Driven Iterative Feedforward Tuning for a Wafer Stage: A High-Order Approach Based on Instrumental Variables[J]. IEEE Transactions on Industrial Electronics. 2019, 66(4): 3106-3116. (6)Liu Yang, Song Fazhi, Dong Yue, Tan Jiubin. Intelligent measurement and compensation of linear motor force ripple: A projection based learning approach in the presence of noise[J]. Measurement Science and Technology, 2018, 29(6). (7)Song Fazhi, Liu Yang*, Xu Jianxin, Yangxiaofeng, Yang Zhile. Iterative Learning Identification and Compensation of Space-Periodic Disturbance in PMLSM Systems with Time Delay[J]. IEEE Transactions on Industrial Electronics. 2018, 65(9): 7579-7589. (8)Li Li, Liu Yang*, Yang Zhile, Yang Xiaofeng. A mean-square error constrained approach to robust stochastic iterative learning control [J]. IET Control Theory & Applications. 2018, 12(1):38-44. (9)Liu Yang, Chen Zhenyu, Yang Zhile, Li Kang, Tan Jiubin. An inline surface measurement method for membrane mirror fabrication using two-stage trained Zernike polynomials and elitist teaching-learning-based optimization[J]. Measurement Science and Technology. 2016, 27(12):124005. (10)Chen Zhenyu, Liu Yang*, Fu Zhenxian, Song Shenmin, Tan Jiubin. Calibration of the Hall Measurement System for a 6-DOF Precision Stage Using Self-Adaptive Hybrid TLBO [J]. Sensors. 2016, 16(6):872. (11)Liu Yang, Li Li, Song Fazhi, Tan Jiubin. Precision Motion Control of Motor Drive Systems with Actuator Nonlinearities and External Disturbances[J]. Journal of the BalkanTribological Association. 2016, 22(3):2567-2582. (12)李理，刘杨*, 陈兴林. 考虑输入饱和的离散最优积分滑模控制[J]. 控制与决策. 2016，31(7):1317-1320. (13)Liu Yang, Li Li, Fu Zhenxian, Tan Jiubin, Li Kang. Automatic mass balancing of a spacecraft simulator based on non-orthogonal structure [C]// Proceedings of 11th UKACC United Kingdom Automatic Control Council, 2016, P7737579, 1-6. Belfast, UK. 授权发明专利 名称 (1)刘杨, 崔宁. 一种光电编码器精码零偏、幅值自适应补偿方法，2017.01.25，ZL201410835368.X (2)刘杨, 李理, 付振宪. 一种基于二次平台线阵CCD的水平位置测量方法，2017.02.08，ZL201410208605.X (3)刘杨, 刘启循, 陈兴林. 基于双频激光干涉仪的垂向伺服机构测量装置及利用其实现高精度垂向运动的方法，2016.02.17，ZL201410277196.9 (4)刘杨, 刘启循, 陈兴林. 一种用于高精度垂向伺服机构的游标式测量装置及测量方法，2016.08.24，ZL201410277186.5 (5)刘杨, 李宗哲, 陈兴林. 基于差动测量的高精度气浮垂向调节机构，2016.03.30，ZL201410277199.2 专著 出版物名称 有铁芯直线电机推力波动的分析与补偿方法 作者 刘杨 付雪微 出版时间 2017.1 出版社 哈尔滨工程大学出版社 简单介绍