于程隆科研成果

基本信息 新建主栏目 基本信息 名称 于程隆，哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院，超精密光电仪器工程研究所讲师，助理教授 。研究方向为高端光刻系统隔微振技术。 （1）面向350&700nm光刻系统的一体式隔微振技术， （2）面向90nm-28nmDUV光刻系统的分体式隔微振技术， （3）面向EUV光刻系统的磁悬浮隔微振技术。 具体内容包括：隔微振系统动力学模型建立及仿真，隔振装置机械结构设计、加工及系统搭建，各类传感器信号采集电路、电机驱动电路、控制电路等的设计及调试，隔微振控制方法仿真与实验验证等。 个人简介：博士毕业于哈尔滨工业大学机电学院，获工学博士学位。在读期间师从中国工程院院士刘宏教授，参与机器人技术与系统国家重点实验室与国家部委项目研究。 2019年，获国家留学基金委支持，赴加拿大阿尔伯塔大学(UoA)进行联合培养，期间师从ANCL实验室主任 Prof. Alan Lynch，方向为复杂非线性系统控制与应用； 2021年，入选哈尔滨工业大学春雁英才计划； 2023年，加入哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院谭久彬院士团队。取得创新性成果：在RAS、JIRS等期刊发表学术论文，授权多项中国专利； 2023年，获哈尔滨工业大学优秀毕业生。 研究兴趣：磁浮系统、主动减振系统的动力学建模、辨识和控制技术研究，包括：多输入多输出系统控制、主动减振系统设计、精密磁浮系统设计与控制、复杂机械结构的动力学建模与测量。 教育经历 名称 2018.09-2023.03， 哈尔滨工业大学， 机械工程， 博士 2019.10-2020.10， 加拿大阿尔伯塔大学， 电子与计算机工程， 联合培养博士 2016.09-2018.07， 哈尔滨工业大学， 机械工程， 硕士 2012.07-2016.09， 哈尔滨工程大学， 自动化， 本科 个人新闻 名称 新闻标题 “学术风向标”经验分享交流活动主讲人 发布时间 2023.03 Photos 新闻链接：http://hitgs.hit.edu.cn/2023/0418/c3318a303290/page.htm ---------------------------------------------------------------------------------------------------------- 新闻标题 2023哈工大博士毕业典礼权杖使者 发布时间 2023.04 新闻链接：http://hitgs.hit.edu.cn/2023/0418/c3318a303290/page.htm