王波

基本信息 学生培养 科学研究 专利成果 论文专著 团队成员新页签 ... 团队成员新页签 新建主栏目 基本信息 名称 王波 教授/博士生导师 男，汉族，1971年生，工学博士，哈尔滨工业大学机电工程学院精密工程研究所副所长。 主要研究方向为超精密加工工艺与装备、短波光学元件制造技术、光学元件大气等离子体加工技术、微细超精密加工技术。在研中科院战略性先导专项空间科学（二期）项目二项、机床与装备相关专项四项、另有超精密机床与关键零部件相关的横向课题；近些年已完成863项目、数控机床国家重大专项、国家自然科学基金面上项目以及其他省部级项目。发表学术论文60余篇，曾获省部级奖励1项，教育部自然科学一等奖1项，其他省部级二等奖1项，申报发明专利100余项，培养博士、硕士研究生60余名。 学术兼职 名称 中国工程物理研究院，客座教授 工作经历 名称 2009.04 - 至今 哈尔滨工业大学精密工程研究所 博士生导师 2008.11 - 至今 哈尔滨工业大学精密工程研究所 教授 2004.12 - 至今 哈尔滨工业大学精密工程研究所 副所长 2004.12 - 2008.11 哈尔滨工业大学精密工程研究所 副教授 1999.12 - 2000.07 Lucent Technologies at Swindon, UK 软件工程师 1999.01 - 2004.12 青岛朗讯科技通讯设备有限公司 软件工程师 教育经历 名称 1989年9月 – 1993年7月 哈尔滨工业大学机械工程系，本科 1993年7月 – 1999年1月 哈尔滨工业大学机械工程系，硕博连读 讲授课程 名称 本科生课程： 《精密和超精密加工技术》， 本科生模块课，32学时； 《先进制造技术》，本科生选修课，32学时； 研究生课程： 《超精密微细机械加工原理及系统设计》，硕士生选修课，36学时/16学时； 《先进制造科学与技术》，博士生选修课，36学时/6学时； 招生信息 名称 硕士招生： 每年计划招收硕士研究生3名，主要开展非球面及自由曲面测量技术、超精密加工过程智能测控技术、EUV及X射线光学元件加工及测量技术、大气等离子体加工技术等方向的学术研究。 博士招生： 每年计划招收博士研究生2名，主要从事短波光学元件加工工艺链优化及测试技术、高性能超精密机床动力学与控制、新一代工业母机关键技术等前沿方向的学术研究。 桃李信息 名称 已毕业博士 年级 论文题目 毕业去向 工作地点 金会良 2009级 《大气等离子体去除熔石英损伤层过程中表面形成机理研究》 中国工程物理研究院 四川成都 李娜 2010级 《连续位相板大气等离子体加工关键技术研究》 美国 吴东旭 2011级 《大尺寸微结构辊筒模具超精密加工若干关键技术研究》 东北大学秦皇岛分校 秦皇岛 辛强 2012级 《大气感应耦合等离子体射流特性与加工表面演变机理研究》 中国科学院光电技术研究所 四川成都 李国 2012级 《薄壁微构件振动辅助微细铣削加工关键技术研究》 哈尔滨理工大学 哈尔滨 乔政 2013级 《辊筒模具超精密机床进给系统特性分析与工艺实验研究》 哈尔滨工业大学 哈尔滨 渠达 2014级 《薄壁微构件微铣削机理及对其力学性能影响的研究》 重庆大学 重庆 苏星 2016级 《连续位相板大气等离子加工与气囊抛光组合工艺研究》 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 四川成都 已毕业硕士 王石磊 2006级 《薄壁微结构研抛装置关键技术研究》 哈尔滨理工大学(荣成) 山东威海 金会良 2007级 《大气等离子体抛光对超光滑表面的影响研究》 哈尔滨工业大学读博 哈尔滨 贺启强 2008级 《计算机控制大气等离子体光学加工方法研究》 山东胜利油田 山东东营 毛星 2008级 《薄壁微结构研抛系统设计及工艺研究》 上海大众 上海 袁野 2008级 《熔石英材料大气等离子体加工工艺研究》 中国***研究院 沈阳 王东方 2009级 《大气等离子体加工熔石英材料过程的若干影响因素研究》 中科院长春光机所 吉林长春 杨允利 2009级 《大气等离子体加工数控方法研究》 博世集团 无锡 吕磊 2009级 《微结构表面的五轴联动超精密切削加工技术研究》 华威新材料有限公司 常州 李国 2010级 《非谐振式振动辅助工作台研制及微细铣削工艺实验研究》 哈尔滨工业大学读博 哈尔滨 张晨峰 2010级 《椭圆振动超精密微细切削系统设计及机理研究》 ***集团 北京 赵玺 2010级 《大气压下大面积接触式等离子体发生装置设计及特性研究》 一重集团大连设计研究院 大连 金江 2011级 《硅基材料的电感耦合等离子体射流加工技术研究》金牌 一汽大众 吉林长春 乔政 2011级 《模辊超精密加工机床动态特性研究及其控制系统设计》 哈尔滨工业大学读博13博 哈尔滨 李铎 2012级 《强激光光学零件感应耦合等离子体抛光系统设计》 英国哈德斯菲尔德大学读博 英国 董雯霞 2012级 《组合式挠性接头角刚度动态测试方法研究》 中国中车 青岛 车琳 2012级 《微构件测试系统建立及力学性能实验研究》金牌 中国工程物理研究院 四川绵阳 丁飞 2013级 《基于力反馈的挠性接头细颈研磨关键技术研究》银牌 英国思克莱德大学读博 苏格兰 王会茗 2013级 《辊筒模具微结构功能表面的加工实验研究》 中国商飞上海飞机设计研究院 上海 王骏 2013级 《ICP快速抛光系统的搭建和保形工艺研究》 中科院苏州医工所 苏州 冯薇薇 2013级 《激光辅助微铣削中铣削力及其与刀尖圆弧半径的关系研究》 迅达电梯有限公司 上海 苏星 2014级 《大气等离子体射流炬设计及性能研究》 哈尔滨工业大学读博16博 哈尔滨 赖志锋 2014级 《基于液体静压丝杠和液体静压导轨的超精密运动系统研究》 德昌电机 深圳 李文鹏 2014级 《基于UMAC的超精密机床数控系统设计及参数自整定研究》 配天机器人 苏州 薛家岱 2015级 《超精密铣研复合加工系统设计及其实验研究》银牌 哈尔滨工业大学读博17秋博 哈尔滨 吴言功 2015级 《小孔节流式气体静压主轴的动静特性分析与实验研究》金牌 哈尔滨工业大学读博17秋博 哈尔滨 何文强 2015级 《辊筒模具光学微结构的切削工艺实验及热误差补偿研究》金牌 杰瑞电子有限公司 连云港 董傲雪 2015级 《薄壁微构件力学性能测试装置搭建及实验研究》 苏州瑞步康医疗科技有限公司 苏州 周中奇 2015级 《超精密模辊机床几何误差建模及其补偿策略的研究》 长光卫星技术有限公司 长春 夏龙光 2016级 《光学元件大气等离子体高精度确定性加工技术研究》 大疆创新 深圳 刘远航 2016级 《五轴联动超精密磨床结构分析及驱动系统设计》金牌 清华大学读博18秋博 北京 贾媛媛 2016级 《辊筒模具形状精度在位检测及误差补偿技术研究》 上海电气 上海 季鹏 2016级 《大气感应耦合等离子体射流加工中热影响及对策研究》 哈尔滨工业大学读博18秋博 哈尔滨 罗杰维 2016级 《NiP超光滑表面CMP理论模型建立及工艺实验研究》 迈瑞医疗 深圳 刘艺 2017级 《压电陶瓷驱动的大行程快刀伺服系统关键技术研究》 大疆创新 深圳 刘刊 2017级 《连续位相板加工参数优选及去除函数相关面形误差分析》 新加坡读博 新加坡 张楚箫 2017级 《菲涅尔结构辊筒模具超精密加工原理及实验验证》 一汽大众 上海 刘长江 2018级 《大尺寸菲涅尔辊筒模具超精密加工工艺研究》 华为 深圳 徐阳 2018级 《大气等离子体加工技术驻留时间算法研究及计算软件集成》 哈尔滨工业大学读博 哈尔滨 王伟 2018级 《X射线聚焦镜模具气囊修形去除函数与算法研究》 迈瑞医疗 深圳 纪成龙 2018级 《大气等离子体加工去除稳定性及锥镜修形研究》 TPLINK 深圳 吴开济 2019级 《X射线聚焦镜模具全频段误差评价及车削低频误差分析》 哈尔滨工业大学读博 哈尔滨 冯鑫 2019级 《面向硅基光学元件超精密修形的等离子体加工系统设计》 中国工程物理研究院材料所 绵阳 研究领域 名称 1、X射线光学元件制造技术 X射线空间应用属世界科技前沿，X射线聚焦光学元件作为其核心载荷，要求具有百微米级的厚度、纳米级的精度，是光学加工领域面临的重大技术挑战。本人承担了 “eXTP天文台重大背景型号”和“EP卫星”的X射线聚焦镜研制任务，突破了温度场扰动下工艺系统纳米级响应特性建模及误差抑制、跨尺度误差评价及其对X射线光学性能影响评测等关键技术，建成了国内首条（目前唯一）X射线聚焦镜洁净生产线，成功研制国内首套满足卫星载荷性能指标的聚焦镜样机，打破了NASA和ESA的技术垄断，为我国空间探测重大科学工程提供了重要的技术支撑。 2、高端超精密加工装备与工艺研发 针对我国超精密机床等高端装备研发面临的关键功能部件制造瓶颈，突破了“低回转误差高刚性气膜最优截面求解”等关键理论问题，研制成功了系列纳米精度静压轴承（优于10nm）并实现小批量生产，关键技术指标达到国际先进水平。 在超精密机床整机研制方面，针对平板显示产品生产中存在的核心加工设备严重依赖进口的问题，在“04”专项支持下，成功研制了国内首台大型辊筒模具超精密加工机床， 实现了国产化替代。 承担了某新型传感器零件制造技术攻关任务，成功研制了整套超精密微细加工、检测装备及工艺，该成果在相关产品中得到了应用。鉴定结论认为“微力反馈控制的微结构研抛技术及装备达到了国际领先水平”，获得2021年省部级科技进步二等奖。 3、大气等离子体加工技术 在国内率先开展了大气等离子体加工技术研究，属于光学加工领域的重要技术创新。在自然科学基金、“04”专项课题等的支持下，开发了原创性的大气等离子体加工装置与工艺（发明专利授权24项），加工出了世界首片带有位相结构的多功能屏蔽片，通过了实际测试，为在重大科学工程中采用具有中国特色的光路设计提供了技术支持。研发的大气等离子体加工机床已在相关单位得到应用。 主要科研项目 名称 X射线聚焦镜制造技术 “中科院空间科学（二期）战略性先导科技专项”- eXTP空间天文台重大背景型号X射线聚焦望远镜研制，4000万，在研； “中科院空间科学（二期）战略性先导科技专项”- EP（爱因斯坦探针）卫星X射线聚焦望远镜正样件研制，1500万， 在研； 大气等离子体化学加工 “制造业高质量发展专项”- 非接触式等离子体加工机床，800万，在研； “高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项——“非接触式大气等离子体抛光技术与装备研究”，360万，结题； 国家自然科学基金面上项目——“自由曲面光学零件的大气等离子体射流加工技术基础研究” 60万，结题； 国家自然科学基金面上项目——“常压射频反应等离子体抛光机理研究”， 32万，已结题； 高性能超精密机床 “高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项——“大尺寸微结构模辊超精密加工机床”，1552万，已结题； 国家高技术研究发展计划（863计划）——“基于微细机构加工数控超精密机床”，936万，已结题； 微细超精密加工 “高档数控机床与基础制造装备”科技重大专项——“高精度惯性器件微制造装备”子课题“超精密振动复合高速微铣削设备”和子课题“基于微力控制的超精密在位研抛装置”，503万，已结题； 其他专项及企业来源在研项目2000余万。 申请专利 名称 自由曲面光学零件的大气等离子体数控加工的装置 CN103212774A 水电极大气等离子体加工大口径非球面光学零件的装置 CN103213172A 水电极大气等离子体加工回转零件方法 CN103212755A 自由曲面微结构光学零件的大气等离子体加工方法 CN103227092A 适用于大口径非球面光学零件的大气等离子体加工装置 CN103227093A 大气等离子体加工装置 CN103237402A 电晕放电模式的大气等离子体发生装置 CN103237403A 同轴放电模式的大气等离子体发生装置 CN103237404A 一体化等离子体发生装置 CN103237405A 一种带有保护气体大气等离子体发生装置 CN103237406A 大口径光学零件的大气等离子体加工方法 CN103231297A 模块化电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法 CN103231418A 气冷式等离子体保护气罩喷嘴 CN103233230A 成型电极大气等离子体加工回转零件装置 CN103236391A 成型电极大气等离子体加工回转零件方法 CN103236392A 单电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法 CN103236393A 大面积大气等离子体均匀放电电极 CN103269556A 采用单个水射流作为电极的大气等离子体的加工方法 CN103265183A 大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的装置 CN103264414A 大气等离子体成形电极加工微结构密封环类零件的装置 CN103258708A 多个电极大气等离子体加工碳化硅密封环类零件的方法 CN103258709A 大气等离子体成形电极加工碳化硅密封环类零件的方法 CN103258710A 水电极大气等离子体加工大口径非球面光学零件的方法 CN103273149A 自由曲面光学零件的大气等离子体数控加工方法 CN103273180A 大面积接触式等离子体放电加工熔石英加工装置 CN102730945A 大面积平面光学零件加工装置及加工方法 CN102744652A 微构件综合力学性能测试装置 CN104007014A 微构件拉伸测试装置 CN104007028A 力学性能测试装置及用该装置测试微构件力学特性的方法 CN103994929A 力学性能测试装置及用该装置测试微构件固有频率的方法 CN104007015A 一种超精密机床的垂直运动轴系 CN102909596A 五轴联动超精密机床 CN102909610A 论著成果 名称 大气等离子体化学加工 Jin, H., Xin, Q., Li, N., Jin, J., Wang, B., Yao, Y. The morphology and chemistry evolution of fused silica surface after Ar/CF 4 atmospheric pressure plasma processing. Applied Surface Science, Vol. 286, 405-411.（通讯作者，SCI，IF：2.538） 金江, 李娜, 徐录, 王波, 金会良. 大气等离子体加工过程的原子发射光谱研究. 光谱学与光谱分析, 2013（2）, 067.（通讯作者，SCI，IF：0.27） Zhang, J., Li, B., Wang, B., Dong, S. Surface Quality Improvement of Atmospheric Pressure Plasma Polishing (APPP) in Machining of Silicon Ultra-Smooth Surfaces. Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing, Vol. 6(4), 464-471.（SCI，IF：0.28） Jin, H.L., Wang, B, Spectroscopic characterization of fluorine atoms in atmospheric pressure He/SF6 plasma, Chinese Optics Letters, 2011, Vol. 9, Issue 6.（通讯作者，SCI，IF：0.804） Y. X. Yao, B. Wang, J. H. Wang, Chemical Machining of Zerodur Material with Atmospheric Pressure Plasma Jet, CIRP Annuals, 2010, Vol. 59, Issue 1. （SCI，IF：1.60） 王波，张巨帆，董申，原子发射光谱分析技术在大气等离子体抛光工艺研究中的应用， 光谱学与光谱分析，2008，Vol. 28， No. 7.（SCI，IF：0.843） B. Wang, J. F. Zhang, S. Dong, New Development of Atmospheric Pressure Plasma Polishing, Chinese Optics Letters, 2009, Vol. 7, No. 6.（SCI，IF：0.804） J. F. Zhang, B. Wang, S. Dong, Analysis of Factors Impacting Atmospheric Pressure Plasma Polishing, International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, 2008, Vol. 9, No. 2. （学生为第一作者，SCI，IF：0.45） Li, N., Wang, B., Jin, H. L. Study on the Key Influencing Factors in Atmospheric Pressure Plasma Processing of Fused Silica. 哈尔滨工业大学学报, 2014(5). （EI，学生为第一作者） Xin, Q., Wang, B., Jin, H. L., Li, N., Li, D., Li, G. Study on the Key Parameters in Etching of Fused Silica using Atmospheric Inductively Coupled Plasma. Key Engineering Materials, 2014, Vol. 625, pp. 469-474. （EI，学生为第一作者） Li, D., Wang, B., Wang, J., Xin, Q. Study of Form Control Algorithm in Atmospheric Pressure Plasma Processing. Key Engineering Materials. 2014, Vol. 620, pp. 49-54. （EI，学生为第一作者） 李娜, 王波, 金会良, 袁野, 杨允利. 微结构光学零件的大气等离子体数控加工. 光学精密工程, 2013, 21(4), 934-940. （EI，学生为第一作者） Y. Zhang, B. Wang, S. Dong, Analysis on the material removal stability for the finishing of the optical surface using atmospheric pressure plasma jet, Proceedings of SPIE, 2010.4, Vol. 7655（EI，学生为第一作者） Y. Zhang, B. Wang, S. Dong, Proposal for Machining Optical Free Form Surfaces Using Atmospheric Pressure Plasma Jet, Advanced Materials Research, 2011,7, Vol. 291-294（EI，学生为第一作者） Y. Zhang, B. Wang, S. Dong, Analysis on principle and key techniques of deterministic finishing, Proceedings of the Second International Conference on Mechanic Automation and Control Engineering (MACE), 2011.7（EI，学生为第一作者） H.L. Jin, B. Wang, Effect on surface roughness of zerodur material in atmospheric pressure plasma jet processing, Proceedings of The 5th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing, 2010.4 （EI，学生为第一作者） H.L. Jin, B. Wang, Research on removal characteristic of the optical quartz with atmospheric pressure plasma jet, Key Engineering Materials, 2011.11 （EI，学生为第一作者） J.F. Zhang, B. Wang, S. Dong, Process Monitoring and Analysis in the Atmospheric Pressure Plasma Polishing (APPP) Method, Prodeeding of SPIE, 2008, Vol. 6722（EI，学生为第一作者） 张巨帆，王波，董申，用于超光滑表面加工的常压低温等离子体抛光系统设计，纳米技术与精密工程，2008，Vol 6，No. 3（EI，学生为第一作者） Zhang Jufan, Wang Bo, Dong Shen, The design of the atmospheric pressure plasma torch used for polishing ultra smooth surfaces, Key Engineering Materials, 2008, Vol. 364-366. （EI，学生为第一作者） Jufan Zhang, Bo Wang, Shen Dong, Process monitoring and analysis of atmospheric pressure plasma polishing method, Proceedings of SPIE, 2007, Vol. 6722. （EI，学生为第一作者） 张巨帆，王波，董申， 超光滑表面加工方法的新进展，光学技术，2007， Vol. 33， No. 11 （EI，学生为第一作者） 张巨帆，王波，董申，大气等离子体抛光技术在超光滑硅表面加工中的应用， 光学精密工程，2007，Vol. 15，No. 11（EI，学生为第一作者） 高性能超精密机床 B. Wang, P. Zhang, Y. C. Liang, Development of the control system for three-axis ultraprecision compact micromilling machine, Journal of Vacuum Science and Technology, 2009, Vol. 27, No. 3. （SCI，IF：1.44） P. Zhang, B. Wang, Experimental study on the cutting performance of ultra-precision micro milling machine, MANUFACTURING SCIENCE AND ENGINEERING, 2010.3, Vol. 97-101 （EI，学生为第一作者） Peng Zhang, Bo Wang, Yingchun Liang. Development of ultra-precision three axes micro milling machine. Proc. of SPIE. 2009,Vol. 7282: 0H （EI，学生为第一作者） Li Guo, Wang Bo, Zhao Xuesen, Dong Shen, Influence of tool presetting error on surface accuracy in ultra precision machining, Proceedings of SPIE, 2009, Vol. 7282 （EI，学生为第一作者） 李国，王波，董申，王石磊，超精密机床宏／微双驱动微位移机构的设计与控制， 光学精密工程，2009，Vol 17，No.6 （EI，学生为第一作者） B. Wang, Y. C. Liang, S. Dong, Study on the compound fuzzy motion control for the ultra precision machine tools, Key Material Engineering, 2006.6, Vol. 315-316. （SCI，IF：0.278） 王波、梁迎春、董申，超精密机床模糊轮廓控制技术研究，哈尔滨工业大学学报，2005， Vol. 37， No. 6. （EI） 微细超精密加工 P. Zhang, B. Wang, Y.C. Liang, Experimental study on the surface roughness of micro milled ElgiloyTM, Engineering Manufacture, 2011.11, Vol. 225, No. 11. （SCI，IF：0.699） Wu, D. X., Li, G., Wang, B., Qiao, Z., Lv, L. Fabrication of Microstructured Surfaces by Five-Axis Ultra Precision Machine Tool. Key Engineering Materials. 2014, Vol. 625, pp. 187-191. （EI，学生为第一作者） 王延深, 张征, 王波. 钛合金 TC4 在连续光纤激光加热下的表面温度场分布研究. 光学学报, 2014(13), 256-262. Peng Zhang, Bo Wang, Mark J. Jackson, Xing Mao. A Novel Desktop Device for Lapping Milled Micro Thin-walled Structures. Advanced Materials Research. 2011,Vol.325: 508-513 （EI，学生为第一作者） Peng Zhang, Bo Wang, Yingchun Liang. Fabrication of microstructure array by means of ultra-precision micro-milling. Proc. of SPIE. 2010,Vol. 7655：0U （EI，学生为第一作者） Zhao Yan, Wang Bo, Liang Yingchun, Analysis and prediction of surface roughness in micro-end milling of Al 2A12, Nanotechnolgoy and Precision Engineering, 2008, Vol. 6,No. 2. （EI，学生为第一作者） Liang Yingchun, Zhao Yan, Wang Bo, State of the art of microcutting technology for the manufacture of microparts, Journal of Jilin University(Engineering and Technology Edition), 2008, Vol. 38, No. 5. （EI） Wang bo, Zhao Qingliang, Wang Langping, Application of atmospheric pressure plasma in the ultrasmooth polishing of SiC optics, Materials Science Forum, 2006, Voll 532-533（EI） 王延深，王波，董申，高能量飞秒激光脉冲对硅和玻璃的附带损伤研究，中国机械工程学报，2006， Vol. 42， No. SUPPI.（EI） 团队成员 名称 1、乔政 1989年出生，工学博士，副研究员，精密工程研究所副所长，主要从事超精密机床设计及超精密加工工艺研究； 2、丁飞 1989年出生，工学博士，研究员，英国Strathclyde大学毕业，主要从事超精密运动控制技术、短波光学元件超精密超光滑加工技术、非球面及自由曲面超精密测量技术研究； 3、金宇安 1993年出生，工学博士，助理研究员，主要从事大气等离子体加工技术及先进光学加工工艺开发； 4、吴言功 1993年出生，工学博士，助理研究员，主要从事流体润滑技术、超精密主轴及转台设计技术研究