李理

个人信息 招生信息 科研信息 教学信息 新建主栏目 基本信息 名称 超精密光电仪器工程研究所—谭久彬院士团队，副教授，博士生导师。 荣誉奖励 名称 2023年获黑龙江省博士后特别资助（黑龙江省博士后青年英才计划） 2023年获中国仪器仪表学会技术发明一等奖（序4） 2023年获中国仪器仪表学会金国藩青年学子奖 2023年入选黑龙江省D类高层次人才 2022年入选哈工大青年拔尖人才选聘计划 2022年入选中国科协青年人才托举工程 教育经历 名称 2009.09-2013.07 哈尔滨工程大学 探测制导与控制技术 学士学位 2013.09-2015.07 哈尔滨工业大学 控制科学与工程 硕士学位 导师：胡庆雷教授（国家高层次人才） 2015.09-2020.10 哈尔滨工业大学 仪器科学与技术 博士学位 导师：谭久彬教授（中国工程院院士） 工作经历 名称 2020.12-2022.12 超精密光电仪器工程研究所 讲师 2021.05- 仪器科学与技术学科 硕士生导师 2022.12- 超精密光电仪器工程研究所 副教授 2023.03- 仪器科学与技术学科 博士生导师 2020.11- 控制科学与工程博士后流动站 师资博士后 合作导师：吴立刚教授（国家高层次人才） 学术兼职 名称 《机械工程学报》青年编委，EI期刊 《工程科学学报》青年编委，EI期刊 《Instrumentation》青年编委 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》青年编委 《计量科学与技术》青年编委 国家自然科学基金评审专家 中国教育发展战略学会人才发展专业委员会学术桥评审专家库专家 国研、研斯研究生学位论文评审平台专家 IEEE会员，计量测试学会、仪器仪表学会、自动化学会会员 学生信息 名称 指导/协助指导博士生： 宋硕 秦广义 赵洪阳 指导/协助指导硕士生： 陶诗昂（本校考研418分） 赵梓伊（四川大学保研） 万雨（中北大学保研） 招生信息 名称 超精密光刻机运动台控制的核心难题是：如何充分利用甚多轴超精密测量数据，实现甚多轴执行器的高动态超精密协同运动，以保证晶圆曝光所需的纳米级伺服精度以及产率要求实现的毫秒级调整时间。为解决该难题，必须突破工业测量数据驱动的数字化与智能化相结合的超精密控制技术。基于数字化技术建立满足技术节点所需的控制模型，基于智能化技术对控制模型结构与参数进行优化。在此基础上，不断提升嵌入式技术应用水平，通过对象模型、控制模型以及测校方法固件化，构建面向光刻应用的信息物理深度融合的智能化控制系统。 目前已开展的具体研究内容包括： 1、超精密光刻机动力学建模、测试、辨识与控制 2、磁浮、气浮长短行程运动台控制与测校技术 3、多自由度运动台精细动力学解耦控制技术 4、基于迭代学习控制的重复性运动控制技术 5、基于学习的运控参数自整定技术 6、多源扰动测试、建模补偿与观测抑制方法 7、运动轨迹规划与整形技术 8、甚多轴协同运动控制技术 9、滑模变结构控制等非线性控制技术 0、高性能嵌入式系统技术 每年招收博士研究生1~2人、硕士研究生2~3人、本科生2人，欢迎具有仪器、控制、计算机、电气、机械、通信、数学等相关专业背景的优秀生源咨询。 科研项目 名称 主持国家自然科学基金青年项目（30万）、中国科协青年人才托举工程资助项目（30万）、黑龙江省自然科学基金联合引导项目（10万）、黑龙江省博士后特别资助项目（30万）和面上资助项目（5万）、哈工大青年拔尖人才科研启动经费（20万）和师资博士后科研启动经费（10万），作为技术骨干参与多个国家级重大工程项目。 学术成果 名称 国际期刊 [1] 1作，Enhancing projection based iterative learning control: a set-membership approach，ISA Transactions，2023，JCR Q1区. 2022年IF=7.3 [2] 通讯，Singular value decomposition based learning identification for linear time-varying systems: from recursion to iteration，International Journal of Robust and Nonlinear Control, 2023，JCR Q1区. [3] 1作，Self-tuning nonlinear iterative learning for a precision testing stage: a set-membership approach，IEEE Transactions on Industrial Informatics，2022，JCR Q1区. 2022年IF=12.3 [4] 1作，Finite time stable inversion in discrete frequency domain: accuracy analysis, improvement and application to wafer stage，ISA Transactions，2022，JCR Q1区. 2022年IF=7.3 [5] 1作，Kalman-filtering based iterative feedforward tuning in presence of stochastic noise: with application to a wafer stage，IEEE Transactions on Industrial Informatics，2019，JCR Q1区. 2022年IF=12.3 [6] 1作，Method to improve convergence performance of iterative learning control systems with bounded noise，Journal of the Franklin Institute，2019，JCR Q1区. [7] 1作，Mean-square error constrained approach to robust stochastic iterative learning control，IET Control Theory & Applications，2018，JCR Q1区. 国内期刊 [1] 通讯，面向IC光刻的超精密运动台控制技术，激光与光电子学进展-光刻技术专题，2022，特邀综述. [2] 1作，考虑输入饱和离散最优积分滑模控制，控制与决策，2016. 国际会议 [1] 口头报告，通讯，Extremum seeking based on sliding mode control for precision motion systems, Chinese Control and Decision Conference, 2024, 分会场主席 [2] 特邀报告，光刻机超精密运动台控制技术, National Conference on Electronic Information Materials and Devices, 2024, 集成电路专题委员 [3] 特邀报告，通讯，Lithographic stepping trajectory planning for residual vibration suppression: an asymmetric S-curve method, IWAPS（国际先进光刻技术研讨会）, 2023. [4] 口头报告，通讯，Iterative control decoupling tuning by feedforward compensation for precision motion stage, IEEE Data Driven Control and Learning Systems Conference, 2023. [5] 特邀报告，Data and mechanism hybrid driven intelligent ultra-precision control technology, International Symposium on Precision Engineering Measurements and Instrumentation, 2022. 授课信息 名称 仪器学院智能感知工程专业核心课程《物联网技术基础》 仪器学院本科生基础课程《自动控制及智能化理论基础》